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與硅片所接觸的材料，設(shè)備，人員等外界環(huán)境都包含有機(jī)化合物。在該實(shí)例中，一塊8英寸硅片被壓覆于一塊晶片加熱板上。晶片表面所產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體可以通過(guò)一臺(tái)GC-MS進(jìn)行收集和分析。
通常，塑料材質(zhì)的零配件會(huì)檢測(cè)出包含C12（1-十二碳烯）、環(huán)甲基硅氧烷（n=6）和二羧酸酯組分。
氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀
我們的 GC 解決方案包括使您能夠成功進(jìn)行氣相色譜分析的氣相色譜分析儀、進(jìn)樣器、檢測(cè)器，色譜柱、自動(dòng)進(jìn)樣器以及軟件。
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